NIL系列纳米压印机最大支持6/8英寸,采用气动传动方式加压,具备热压以及紫外压印功能。全面支持PDMS、Hybrid PDMS、SFP软压印以及Nickel Template金属镍模板热压技术。



本产品技术参数:

      主机包含:真空系统,温度控制系统,压力控制系统,水冷系统,PLC 控制系统,软件操作界面,紫外光源,双面电磁加热系统

      设备最大压印尺寸:6 英寸。

      设备可以实现热压印、紫外曝光压印

      最大压力:8bar(空压机)

      温度范围:从室温到 250 摄氏度。

      紫外光源类型:高压汞灯:功率:400W,主波长:365nm。

      设备真空度:10 帕。

      设备随机可以根据科研需求提供全系列的纳米压印胶,

             支持自动脱模,双面电磁加热功能

              国内具备原厂售后能力,现场提供纳米压印设备工艺指导,ICP 刻蚀设备工艺指导并帮助用户利用 SEM 或 AFM 对于纳米压印结果进行表征。

提供工艺包括:

纳米压印胶旋涂工艺支持

纳米压印模板防粘工艺支持,

软模板工艺,包括 PDMS 模板、SFP 以及 Hybrid Mold 工艺

ICP 刻蚀工艺

柔性聚合物衬底压印工艺,Nickel Template 金属镍模板热压 PET、PMMA 等举离(Lift-off)工艺支持,加工金属结构

纳米压印表征技术



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