自从1993年起SURFACE公司就从事脉冲激光沉积镀膜系统(以下简称PLD)的研发和制造工作,在这期间SURFACE公司不但向市场提供了标准的PLD系统,而且也提供专门为客户订制的PLD系统。经过了这么多年的发展,SURFACE公司开发出许多能够满足客户需求的产品和技术。以下就是由SURFACE公司独家提供的这些产品和技术的简要介绍:


一. 基本资料
1.、SURFACE基底运载系统
对机械手来说,热均匀和热隔离的有效性是十分重要的。这其中,精确的热电偶是关键的质量因素。
SURFACE常规电阻1英寸基底运载器
嵌入式Omicron原子力基底夹
热电偶直接嵌入基底运载系统,30mm的基底中间区域
基底和银酱一起安装在激光切边运载器上。运载系统可转换并直接嵌入热电偶,这保证绝大多数的温度测量。

2、靶切换系统
超高真空技术需要反应釜通过一个负载锁的腔体进行相互作用。从一开始,SURFACE就意识到这一点,并设计了一个靶转盘来实现这一需求。
多层盖板避免了强热的基底转移到靶材。所有靶材是受保护,以防止交叉污染。盖板能够非常容易地被更换,无需工具。靶材将通过磁场操纵或位于中央转移腔的内部转移操纵手被转移。该耦合和靶材的精确检索是自动完成的。靶转盘和切换动力保证了均质烧蚀过程。
3、模块化的系统概念
SURFACE公司多年来一直从事于研发超高真空材料科学系统。在大多数情 况下,一个系统的工作负载起始于一个单一的过程控制,往往过了一段时间以后,客户的需求会增多。为了通过附加的过程控制提升整套设备的功 能,SURFACE公司认识到需要用完整的模块化概念来解决这个问题。
从向市场提供单一的腔体加上负载锁,一直到提供更多的扩展,而不需要冒任何将来转换而产生的风险。
可以方便客户的细节:
1、 转换过程有照相机支持
从开始我们的束工具生产,我们就决心让使用设备变得更加简便。最早我们使用 了一个独立的监视器,连接一台独立的BW照相机。为了实现自动化,增加了第二个TTL监视器来观测实时的彩色照片和相关的其他过程数据。尤其是当我们的激 光加热系统应用以后,另外一台显示器对显示实际得图表和数据非常有用。毫无疑问,所有的照片都能够被实时地存储在过程控制系统的硬盘驱动器上。
2、 整套系统的紧凑安装
实验室
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