这就是您需要的解析力 The Profilm3D的直观软件包括表面粗糙度,形状和台阶高度的测量。在数秒内,您可以获得平面和曲面表面上测量所有常见的粗糙度参数。也可以选择拼接功能软件升级来组合多个影像以提供大面积测量。


Profilm3D使得光学轮廓测量更加容易简单

表面粗糙度和表面形貌测量可以用比探针式轮廓仪成本更低的仪器来进行。 Profilm3D具有3倍于其成本仪器的次纳米级垂直分辨率, Profilm3D 同样使用了现今最高分辨率之光学轮廓仪的测量技术包含白光干涉(WSI)及相移干涉(PSI)



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ProfilmOnline 可存储、共享、查看与分析来自您的光学轮廓仪或3D显微镜之3D影像。任何台式电脑,平板电脑或智能手机上都能查看和操作。享受全面的图像分析功能,包括表面轮廓(粗糙度)和阶高分析。


其他轮廓仪列为选备的功能已经是我们的标准配备为什么需要额外支付每位使用者所需要的功能?每台Profilm3D都已标配自动化X/Y平台包含tip/tilt 功能。


以我们的阶高标准片建立标准


每台Profilm3D配备了一个10微米阶高标准片,可达0.5%准确度。另我们还提供具有100nm2微米以及4微米等多阶高标准片。


最大视场


The Profilm3D 10倍物镜优异地提供更寛广的2毫米视野,其数位变焦功能有助于缓解不同应用时切换多个物镜的需要,更进一步减少总体成本。手动式物镜转盘能一次搭载四组物镜,能满足需要多种倍率物镜交替使用的测量应用。


性能规格


厚度范围, WSI

50 nm - 10 mm

厚度范围, PSI

0 - 3 μm

樣品反射率範圍

0.05% - 100%


机械规格


Z 范围

100 mm

Piezo (压电)范围

500 μm

XY 平台类型

手动或自动

XY 平台范围

100 mm x 100 mm

相机

2592 x 1944 (5 百万像素)

系统尺寸,宽xx

300 mm x 300 mm x 550 mm

系统重量

15 kg


物镜 1 (Nikon CF IC Epi Plan)


放大倍率

5X

10X

20X

50X

100X

视场

4.0 x 3.4 mm

2.0 x 1.7 mm

1.0 x 0.85 mm

0.4 x 0.34 mm

0.2 x 0.17 mm

采样空间2

1.76 μm

0.88 μm

0.44 μm

0.176 μm

0.088 μm


 

常见的选购配件:

  • Accurion Nano30主动式防震台 
  • 手动4-物镜炮塔及位置感测
  • 自动4-物镜炮塔及位置感测
  • 4微米,2微米,和100纳米多台阶高度标准。1.25英寸方形硅片上镀铬



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