ET150是一款最大可测6英寸样品的台阶仪,采用了Kosaka独有的直动式台阶测量方式,有效避免了传统杠杆式台阶仪所带来的圆弧误差。全身花岗岩材质的低重心设计,起到了良好的自隔震作用。这些都使其拥有极高的分辨率和极佳的重复性!ET150具备了台阶高度、粗糙度、波纹度、翘曲度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌测量及分析技术。低测定力模式不仅能够避免划伤样品,也能对于软性样品进行测试,适合于各类晶片、薄膜、涂层、MEMS、平板显示等领域的表面测量。



Kosaka 直动式台阶仪(Profilometer ET-150


















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