HNSL-复合PDMS模板软压印工艺,适合于硅/石英等硬材质的压印。Nickel Template-金属镍模板热压工艺,适合于PMMA/PET等聚合物/柔性衬底等热塑样品的直接热压。HNSL & DTUCN-复合PDMS软压印工艺 & 双转移紫外纳米压印工艺,适合于曲面等复杂表面。


Imprint Nano是国内专业纳米压印技术服务解决方案的提供者,不仅研发了首台中国的6英寸以及8英寸纳米压印设备,
也针不同衬底采用不同的压印方式:
 
第一种是针对硬质的硅/石英/蓝宝石衬底所提供的,软模板紫外压印:该工艺的特点是可以最大程度消除灰尘所带来的压印缺陷,提升纳米压印的容错率,并且也可以在曲面上(例如光纤上)进行压印。此外,该工艺还可以结合热蒸发或磁控溅射这类镀膜技术实现Lift-off,把金属结构做在硅/石英等衬底上。Imprint Nano的软模板并不是普通的PDMS模板,而是专利的Hybrid PDMS/SPF软模板。普通的PDMS模板由于弹性模量不透通常只能压印微米尺度的结构,如果用来压印纳米尺度或者亚微米尺度是很容易引起变形。因此,Imprint Nano专门开发了一种Hybrid PDMS/SPF模板以解决PDMS软模板弹性模量不够的这一些缺陷,从而实现了15nm尺度的软压印。相应的成果已经发表在2009的Nano Letter以及2012的Applied Physics上。
 
第二种是针对柔性的聚合物衬底所提供的,金属镍模板直接热压工艺:该工艺的优点是免去涂胶以及刻蚀的步骤,并且适合长时间在高温高压下进行压印。国内像南方科技大学,Zinniatek有限公司等都在使用这种工艺在聚合物上面加工结构,从而进行太阳能电池方面的研究工作。



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