1.悬臂和材料变化

 
 1)特殊机械性能的PPP系列针尖(超软(0.02N/M),超硬(2000N/M),超高频
率(1200kHZ)

 
 2) 磷掺杂硅针尖

  
 3)低Q-/高Q-因子针尖


2.
特殊的镀层

 
 1)镀层可选材料:
Ag, AgCl, Al, Au, Co, Cr, Cu, FeNi, Ir, MgO2, Mn,  

   Ni, NiCo, NiCr, Pd, Pt, PtMn, Rh, RhPt, Ti, V, W  

  
 2)硅针尖表面10nm氮化硅层;

3.针尖修饰

  
 1)氮化硅/类金刚石针尖

  
 2)碳纳米管针尖

  
 3)小球针尖

  
 4)圆形针尖

  
 5)大、小平台型针尖


4.
超短悬臂(超快速扫描)

  
 1)Tipless针尖(最快5000kHZ)

  
 2)氮化硅悬臂类金刚石针尖(最快25000kHZ)

5.特殊针尖

                                          
 
  1)石英中间分布型针尖

  
  2)电化学针尖(针尖、悬臂依次为):Silicon / SiO2 / Pt / SiN

  
  3)顶端打孔型针尖

  
  4)高谐波针尖

  
 5)阵列型氮化硅悬臂针尖



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