NIL系列纳米压印机最大支持6/8英寸，采用气动传动方式加压，具备热压以及紫外压印功能。全面支持PDMS、Hybrid PDMS、SFP软压印以及Nickel Template金属镍模板热压技术。
本产品技术参数：
主机包含：真空系统，温度控制系统，压力控制系统，水冷系统，PLC 控制系统，软件操作界面，紫外光源，双面电磁加热系统
设备最大压印尺寸：6 英寸。
设备可以实现热压印、紫外曝光压印
最大压力：8bar（空压机）
温度范围：从室温到 250
摄氏度。
紫外光源类型：高压汞灯：功率：400W，主波长：365nm。
设备真空度：10
帕。
设备随机可以根据科研需求提供全系列的纳米压印胶，
支持自动脱模，双面电磁加热功能
国内具备原厂售后能力，现场提供纳米压印设备工艺指导，ICP 刻蚀设备工艺指导并帮助用户利用 SEM
或 AFM 对于纳米压印结果进行表征。
提供工艺包括：
纳米压印胶旋涂工艺支持
纳米压印模板防粘工艺支持，
软模板工艺，包括 PDMS 模板、SFP
以及 Hybrid Mold 工艺
ICP 刻蚀工艺
柔性聚合物衬底压印工艺，Nickel
Template 金属镍模板热压 PET、PMMA 等举离（Lift-off）工艺支持，加工金属结构
纳米压印表征技术