扫描微波阻抗显微镜是可以应用于各种AFM平台的独立扫描模块,包括微波信号发生器、探针干涉模块,自主专利同轴屏蔽探针,以及微波近场软件。探针采用了特殊MEMS结构可以有效的避免杂散场的干扰。


        微波近场专用探针

        同轴屏蔽悬臂和坚固的金属针尖,两侧镀金属,中间有一条导线。

        针尖为50nm,可以有效的保持电信号形貌成像的精确和灵敏。因为是近场信号反馈,取决于针尖与样品之间形成的近场电磁

        场的面积区域。如果针尖太细,就无法产生足够的反馈信号。当然特征区域面积的大小是由样品本身性质决定的。比如掺杂

        和金属样品我们可以将特征区域缩小至
20nm以下。

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